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- 1500C 500W 高温等离子体化学 气相沉积系统OP-1500-TZ3D-PE
- OP-1500-TZ3D-PE是一款单温区1500℃的高温等离子体化学气相沉积系统,该设备由射频电源、1500℃单温区管式炉、多通道质子混气系统和真空系统组成。此款PECVD系统可广泛应用于生长纳米线、石墨烯及薄膜材料领域。
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