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- 1200℃ PECVD等离子体化学气相 沉积系统 OP-1200-TS-Z4D-PE
- OP-1200-TS-Z4D-PE是一款单温区1200℃的等离子体化学气相沉积系统,该设备由射频电源、1200℃单温区管式炉、多通道质子混气系统和真空系统组成。此款PECVD系统可广泛应用于生长纳米线、石墨烯及薄膜材料领域。
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