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1200℃ PECVD等离子体化学气相 沉积系统 OP-1200-TS-Z4D-PE
1200℃ 三温区PECVD等离子体化学气相 沉积系统 OP-1200-TS3-Z4D-PE
500W 等离子射频模块PE-500W
200W 等离子射频模块PE-200W
1700℃三温区双通道混气低真空 CVD系统TP-1700-T3Z2D(一体机)
1500℃ 单温区双通道混气低真空 CVD系统TP-1500-TZ2D(一体 机)
1200℃单温区双通道混气低真空 CVD系统OP-1200-TZ2D(一体机)
1200℃五面加热炉 (64L,炉腔尺寸:400*400*400mm) MP-1200-X6
1200℃ 27L 台式箱式炉 MP-1200-X4
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